HLF 800(HLF810/HLF820) 超音波流量計 HLF 800(HLF810/HLF820)
HLF 800(HLF810/HLF820)
超音波流量計 HLF 800(HLF810/HLF820)
Ultrasonic flow meter HLF 800(HLF810/HLF820)
廠牌：代理
供應商：大台北尖端儀器有限公司
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探測器
各検出器固有損失係数A（20℃純水）
⊿P＝AQ2 ⊿P：圧力損失[KPa] A：固有損失係数 Q:流量[L/min]
変換器-検出器接続
總覽
配備DSP（數字信號處理器），透過原始信號計算實現穩定的測量
使用超音波，測量流體的流速並從該流速計算流速。
感應器安裝在流動的上游和下游，當從每個感應器沿正反方向傳輸時，根據超音波傳播時間差計算流速，並轉換為流速。
感應器安裝在流動的上游和下游，當從每個感應器沿正反方向傳輸時，根據超音波傳播時間差計算流速，並轉換為流速。
○由於管道內部沒有結構，因此可以在最小壓力損失的條件下測量流量。
○可以測量從低流速到高流速的寬範圍。
○可以測量從低流速到高流速的寬範圍。
特點
●配備DSP（數字信號處理器），透過原始信號計算實現穩定的測量
●配備DSP（數字信號處理器），透過原始信號計算實現穩定的測量
●可以將兩個不同大小的轉換器與一個轉換器連接
由於最多可將兩個檢測器連接到一個轉換器，因此在多個位置測量流量的設備中，它節省了空間，並且在性價比方面表現出色。您還可以連接不同尺寸的檢測器以及測量不同的流體流速。
由於最多可將兩個檢測器連接到一個轉換器，因此在多個位置測量流量的設備中，它節省了空間，並且在性價比方面表現出色。您還可以連接不同尺寸的檢測器以及測量不同的流體流速。
●顯示採用VFD顯示
我們採用VFD（螢光顯像管）進行顯示，它具有出色的可見性。 [僅適用於HLF820]
我們採用VFD（螢光顯像管）進行顯示，它具有出色的可見性。 [僅適用於HLF820]
●支援高溫化學品的流量測量
與近年來多樣化的化學和流體溫度相容。所有接液部件均使用NEW PFA，並具有出色的耐化學性。此外，使用內部開發的振盪器，探測器可以處理高達200°C的流體溫度。 （K型）
* 04型最高溫度可達180℃。
與近年來多樣化的化學和流體溫度相容。所有接液部件均使用NEW PFA，並具有出色的耐化學性。此外，使用內部開發的振盪器，探測器可以處理高達200°C的流體溫度。 （K型）
* 04型最高溫度可達180℃。
●使用可移動電纜。接線工作簡單
由於可以安裝和拆卸檢測器的佈線電纜，因此在安裝到設備上之後可以順利進行佈線。電纜的長度可以從5m和7m中選擇。
由於可以安裝和拆卸檢測器的佈線電纜，因此在安裝到設備上之後可以順利進行佈線。電纜的長度可以從5m和7m中選擇。
●透過RS-485通訊可以透過PC進行遠端監視
RS-485通信是標準設備。透過使用管理軟體（HLF800 Monitor），可以在PC上完成參數設置和測量數據讀取，從而可以進行遠端流量監控。
RS-485通信是標準設備。透過使用管理軟體（HLF800 Monitor），可以在PC上完成參數設置和測量數據讀取，從而可以進行遠端流量監控。
用途
•半導體工藝中純水和超純水的流量測量
•用於各種化學處理過程的流量控制，例如高腐蝕性化學塗層
•CMP（化學機械拋光）漿液流速測量
•半導體工藝中純水和超純水的流量測量
•用於各種化學處理過程的流量控制，例如高腐蝕性化學塗層
•CMP（化學機械拋光）漿液流速測量
規格
轉換器
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型式
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HLF810
|
HLF820
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|---|---|---|---|
|
測量方式
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超音波傳播時間差方式
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精度
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±1% R.D. (純水20℃)
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數據更新周期
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0.01秒
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電源
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電壓
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DC24V ±10%(21.6～26.4V)
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消耗電流
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約4W
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約5W
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顯示
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-
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VFD（螢光管）16文字ｘ2行
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數位輸入
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集電極開路輸入或非電壓觸點輸入2點
從累計值重置和0點調整中選擇
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輸出
|
4-20mA電流輸出
|
2點
分解能：12bit(最大負載電阻 600Ω） |
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|
數位輸出
|
集電極開路輸出（MAX35V / 0.1A）2點
從比較中選擇，積分脈衝，瞬時頻率，誤差輸出
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|
界面
|
RS-485（MODBUS協議，RTU模式）
可以連接32個單元（位址為1到32） 通訊速度：9600、19200、38400、57600bps
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外殼材質
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ABS
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使用環境溫度
|
0～50℃(非冷凝)
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130ｇ
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230g
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安裝方法
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DIN導軌
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面板
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探測器
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型式
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HLFS01-04
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HLFS01-06
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|---|---|---|---|---|---|
|
測量對象
|
超純水 / 純水 / 藥液
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測量流量範圍
|
0～2L/min |
0～20L/min
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連接管尺寸
|
1/4"
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3/8"
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精度
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計測流量
|
0～小於800mL/min
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800～2000mL/min
|
0～小於2000mL/min
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2000～6000L/min
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|
流量精度
|
±8mL/min
|
±1% R.D.
|
±20mL/min
|
±1% R.D.
|
|
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耐圧力
|
0.5MPa (0～90℃) / 0.2MPa (90～200℃)
|
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|
流体温度
|
標準
|
0～90℃
|
|||
|
高温
|
0～180℃
|
0～200℃
|
|||
|
使用周囲温度
|
0～80℃
|
||||
|
接液部材質
|
NEW PFA
|
||||
|
質量
|
90g
|
110g
|
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固有損失係数
|
3.7863
|
0.0937
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|
型式
|
HLFS01-08
|
HLFS01-12
|
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|---|---|---|---|---|---|
|
測定対象
|
超純水 / 純水 / 薬液
|
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|
測定流量範囲
|
0～20L/min
|
0～50L/min
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|
接続
|
1/2"
|
3/4"
|
|||
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精度
|
計測流量
|
0～4.3L/min未満
|
4.3～20L/min
|
0～11.8L/min未満
|
11.8～50L/min
|
|
流量精度
|
±43mL/min
|
±1% R.D.
|
±118mL/min
|
±1% R.D.
|
|
|
耐圧力
|
0.5MPa (0～90℃) / 0.2MPa (90～200℃)
|
||||
|
流体温度
|
標準
|
0～90℃
|
|||
|
高温
|
0～200℃
|
||||
|
使用周囲温度
|
0～80℃
|
||||
|
接液部材質
|
NEW PFA
|
||||
|
質量
|
130g
|
160g
|
|||
|
固有損失係数
|
0.1146
|
0.0138
|
|||
|
型式
|
HLFS01-16
|
||
|---|---|---|---|
|
測定対象
|
超純水 / 純水 / 薬液
|
||
|
測定流量範囲
|
0～80L/min
|
||
|
接続
|
1"
|
||
|
精度
|
計測流量
|
0～20L/min未満
|
20～80L/min
|
|
流量精度
|
±200mL/min
|
±1% R.D.
|
|
|
耐圧力
|
0.5MPa (0～60℃) / 0.2MPa (60～200℃)
|
||
|
流体温度
|
標準
|
-
|
|
|
高温
|
0～200℃
|
||
|
使用周囲温度
|
0～80℃
|
||
|
接液部材質
|
NEW PFA
|
||
|
質量
|
212g
|
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固有損失係数
|
0.0033
|
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各検出器固有損失係数A（20℃純水）
⊿P＝AQ2 ⊿P：圧力損失[KPa] A：固有損失係数 Q:流量[L/min]
変換器-検出器接続
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型式
|
HLFS01 5m
|
HLFS01 7m
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|---|---|---|
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材質
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ETFE
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長
|
5m
|
7m
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質量
|
150g
|
210g
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