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全球專利技術唯一可以偵測20nm 以下在 UPW 或 CMP Slurry 中 微粒或生物氣膠
發佈日期:2016/8/30 上午 09:03:54

志尚儀器所代理的日本Kanomax FMT 公司最近推出最新一代的液體奈米粒子(徑)分析儀(LNS), 相關介紹影片請參考下列連接網址:



https://www.kanomaxfmt.com/product/scanning-threshold-particle-counter-model-9010/



   本套分析儀除了採用新設計的霧化器(Nebulizer) 及在DMA中採用環形流離



子遷移分類器(Annular Flow Ion Mobility Classifier)設計, 並結合快速冷凝



式粒子計數器(Fast CPC), 並設計一套客製化 CMP Slurry軟體除了可以輕鬆的量測 5-600 nm 的CMP Slurry 粒徑分析, 更可以針對多種 CMP Slurry 的模式及分配統計每種模式下10%,50%和90%的粒徑數據. 詳細資料請來電聯繫.



 

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