NX10 智能型多功能 AFM

1.   多功能型:

- AFM , Tapping , Non-contact mode , 電性功能 (CAFM , EFM , SCM , SSRM…) , Lithograthy ....

​- XY及Z採用最高端分離式 flexture掃描器設計.

- 機械性功能 FMM , Force-Distance , LFM , …

2. 最新SmarkScan(智能掃描)軟體 (http://youtu.be/_V43HbABriQ )，具自動調整參數得到高解析成像功能

3. 掃描器線形度高，直角正交
AFM採用了柔性掃描器最大限度減小了X和Y掃描運動的交叉耦合，並且通過位移感測器及時進行回饋控制，有效保證了掃描的準確度和精度。 

4. 非接觸式掃描 ( True Non-contact Mode)
可真正實現非接觸式掃描是Park AFM最顯著的技術優勢。採用這一模式掃描時，針尖和樣品間距可以保持在幾個納米，在避免針尖磨損的同時提高了成像品質。

5. CrN樣品測試結果
CrN樣品具有點狀尖銳的特點，是常用的AFM探針性能測試樣品。如採用輕敲模式進行掃描，10次後圖像品質就因針尖磨損而明顯下降。在非接觸掃描( True No-contact mode)實驗中，掃描100次後圖像細節依然清晰，證明針尖沒有受到損傷。