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MCP-T380 低阻抗率計 MCP-T380型 (手提式)

MCP-T380

低阻抗率計 MCP-T380型 (手提式)

Loresta-FX

廠牌:日東精工分析科技
供應商:南北貿易有限公司 日東精工分析科技(三菱化學分析科技) 台灣總代理
聯絡電話:04-22994269
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135

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低阻抗率計 MCP-T380型 (手提式)-行動條碼QR Code

日東精工 台灣總代理 南北貿易有限公司

 

 

商品規格

商品名稱:

低阻抗率計 MCP-T380型 (手提式)
Loresta-FX

 

特色:

維持安定之高品質,依據世界唯一之四探針理論之高精度之阻抗率計。操作簡單,現場使用攜帶型方便,用於生產技術、品質管理。

除了標準交流電轉接器外,可搭配使用 4 顆 AA 尺寸(高容量)可充電鎳氫電池,可滿足頻繁使用。

測定範圍:

10-2~106Ω

 

資料處理:

Data Logger Software軟體(選購)可將測量數據直接輸出至PC。 

 

尺寸:

約 228 L× 85 W× 65 Hmm, 350g

 

 

 

 

標準配備

 

 

ASR探頭

ASR探頭 (RMH501)《四探針探頭》

Pin間 5mm,Pin尖 0.37R×4支,壓力 220g/支,

 

 

 

AC-Adaptar (RMJ901)

 

 

 

 

選購品


 

ESR探頭

ESR探頭 (RMH502)《四探針探頭》

不均一樣品用
Pin間 5mm,Pin尖 Ø 2×4支,壓力 230g/支,


 

PSR探頭

PSR探頭 (RMH504)《四探針探頭》

小樣品或薄膜用
Pin間 1.5mm,Pin尖 0.26R×4支,壓力 95g/支,


 

BSR探頭

BSR探頭 (RMH506)《四探針探頭, 特殊用探頭》

大樣品用
Pin間 2.5mm,Pin尖 0.37R×4支,壓力 170g/支


 

LSR探頭

 

LSR探頭 (RMH503)《四探針探頭, 特殊用探頭》

Soft surface samples用 
Pin間 5.0mm,Pin尖
 Ø2×4支,壓力 140g/支

 


 

AR探頭

AR探頭 (RMH508)《二探針探頭》

Pin間 10.0mm,Pin尖 Ø2×2支,壓力 230g/支


 

BR探頭

BR探頭 (RMH509)《二探針探頭》

大樣品用
Pin尖 Ø 2×2支,壓力 200g/支


 

ASR探頭

ASR探頭 (RMH501)《四探針探頭》

Pin間 5mm,Pin尖 0.37R×4支,壓力 220g/支,


 

QR探頭

QR探頭 (RMH505)《四探針探頭》

微小樣品用
Pin間 1.5mm,Pin尖 0.26R×4支,壓力 95g/支,


 

NSCR探頭

NSCR探頭 (RMJ507)《四探針探頭, 特殊用探頭》

Silicone wafer用 
Pin間 1.0mm,Pin尖 0.04R×4支,壓力 250g/支


 

ESP探頭

MCP-TRF1(RMH304) 探頭檢驗片

ASR,ASP,ESR,ESP,LSR,LSP探頭用
(探頭檢驗片於測定前檢查之)


 

PSP之探頭檢驗片

MCP-TRPS (RMH311) 探頭檢驗片

PSR,PSP探頭用 (探頭檢驗片於測定前檢查之)


 

TFP, NSCP之探頭檢驗片

MCP-TRT2 (RMH335) 探頭檢驗片

AR,AP2,BR,BP探頭用 (探頭檢驗片於測定前檢查之)


 

TFP, NSCP之探頭檢驗片

MCP-TRTF (RMH312) 探頭檢驗片

NSCR,NSCP,TFP探頭用 (探頭檢驗片於測定前檢查之)


 

QR,QP2之探頭檢驗片

MCP-TRQP2 (RMH313) 探頭檢驗片

QR,QP2探頭用 (探頭檢驗片於測定前檢查之)


 

 

阻抗量測設備;阻抗計;阻抗率計;高阻計;低阻計;高阻抗計;低阻抗計;高阻抗率計;低阻抗率計;Resistivity meter;抵抗率計;阻抗分析儀;表面阻抗計;桌上型低阻抗率計;手持式阻抗率計;四點探針;半導體系列;

 


高精確阻抗率計檢測法


前言
科技快速進步,電子半導體的開發及應用,往往會應產品的需求而相對提高成品組合間的品質,如:阻抗、阻抗率。目前在半導體業間常需要此阻抗、阻抗率的數據來了解其相互之間問題。由於以傳統的方式來測量需要耗費人力、物力及大量時間去套入公式以求得結果,造成檢測中一大困擾,因此,日東精工分析科技便研發了更方便的測量儀器來解決,不用再計算繁瑣的公式了。符合了國際間的ISO 1853、ISO 2878、ASTM D991、JIS K 7194、JIS R 1637。


1-1 概念(測定原理)
Resistance阻抗:阻抗被用於不同狀態和物質性質,是做阻抗是隨物質形狀、大小、測定位置不同而變化。
Resistivity阻抗率:阻抗率乃為阻抗(Ω)乘以阻抗率校正因數(RCF)而來,通常,它要經過一番努力煩瑣的計算出校正因數後,才能換算得知。而日東精工微電腦阻抗率計能於短時間內輕易的精確處理出物質阻抗率。
阻抗:測值會隨條件變化的。
阻抗率:是對絕對值,對每個物質來說它只有一個測值。
例:測量黃金時

Resistance(Ω)
2.4× 10-8 Ω big< 2.4× 10-6 Ω bigger< 2.4× 10-2 Ω

Resistivity(Ωcm)
2.4× 10-6 Ωcm changeNo.= 2.4× 10-6 Ωcm changeNo.= 2.4× 10-6 Ωcm

“Ω”or“Ωcm”- which will you use for evaluating materials?

“Resistivity” is a simple index for classifying all the materials in the world.

 

1-2 阻抗(Resistance)和阻抗率計(Resistivity)之間的關係


~關鍵在阻抗率校正因數(RCF) ~
♦ Resistance阻抗(R),阻抗=電阻
當一個電流(I)流穿一物質,其電的阻抗乃緣由入口與出口間有一電位差(V)造成,故以公式表此關係即歐姆定律(Ohm’s law)。
阻抗R(Ω)=V[V]/I[A]


♦ Volume Resistivity體積阻抗率(ρν),阻抗率=電阻係數
表示物質每單位體積之阻抗。
“體積阻抗率”也叫做”特殊阻抗Specific Resistance”或”阻抗率”
“體積阻抗率”是大部分利用於物質方面之用詞;
“特殊阻抗”是共通於電學方之用詞;
“阻抗率”常被用在物理學方面之用詞。
體積阻抗率 ρν [Ωcm] =R [Ω] × RCF× t
此單位“Ωcm”讀為“厘米歐姆”每一物質為有一單一特性值為體積阻抗率。

※Condductivity電導率(σ)
電導率是體積阻抗率的相反,它又被叫“電的電導率”或“電導係數”。
電導率 σ [ /cm ]=1/ρν,此單位是“S/cm”讀做每厘米西門子。


♦ Surface Resistivity表面阻抗率(ρs)

表示物質每單位表之阻抗。
“表面阻抗率”也叫做“單張阻抗”其單位為“Ω”。然而為了要和阻抗(Resistance)區分,所以被寫為“Ω/□”或“Ω/sq”讀為“每歐姆平方”。
表面阻抗率因材質厚度不同而變化,所以通常被利用於塗裝或薄膜方面,相反的,它可被利用於厚度的判斷指標。
表面阻抗率 ρ[ Ω/sq ] = R[ Ω ] × RCF = ρν× 1/t

♦ Resistivity Correction Factor阻抗率校正因數(RCF)
通常以金屬電極(4針探頭)固定於樣品表面以測得阻抗。
阻抗乘以阻抗率因素而計算出體積阻抗率及表面阻抗率。 阻抗因數是依電極之形號、尺寸、內針距離或樣品之形狀、尺寸,測定位置而被確定求出。
利用Poisson’s方程式可精確的求出於電磁學的確定電位。

1-3 阻抗率之計算 [傳統方法]
~阻抗率是物質之絕對值~

Resistance R(Ω)= V[V]/I[A]
Volume Resistivity ρ[Ωcm]=R [Ω] ×W/1× t
Surface Resistivity ρs [Ω/sq]=R [Ω] ×W/1=ρν×1/t


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 MCP-T380 Loresta-FX

4 Terminal 4 Pin Method

The contact resistance between sample and probe is excluded. Accurate measurement is realized by this method.

Pin pressure, pin interval and pin diameter are maintained constant by using the MCP probe which adopted the spring contact mechanism.

 

 Standard Configuration

Type of Measurement:

MCP-T380 Loresta-FX

 

Features:

By setting timer in the Auto-hold mode assures reliable measurement.

In addition to the standard AC adapter, 4 x AA size (high capacity) rechargeable NiMH batteries enable heavy use.

 

Range:

10-2~106Ω

 

Data Processing:

Data Logger Software (optional) is available to output measurement data to PC directly.

 

Dimention&Weight:

228 L× 85 W× 65 Hmm, 350g

 

 

 

 

 

 Standard equipment

 

 

ASR探頭

ASR (p/n RMH501)

Standard, Pin Interval 5mm,

Pin Top 0.37R ×4 pins

Pushing Pressure 220g/Pin

 

 

 

AC Adaptar (p/n RMJ901)

 

 

 

 

 Option


 

ESR探頭

ESR (p/n RMH502)

For non homogeneous samples,

Pin Interval 5mm,

Pin Top Ø2 × 4 pins

Pushing Pressure 230g/Pin


 

PSR探頭

PSR (p/n RMH504)

For small samples,

Pin Interval 1.5mm,

Pin Top 0.26R × 4 pins

Pushing Pressure 95g/Pin


 

BSR探頭

BSR (p/n RMH506)

For very large samples,

Pin Interval 2.5mm

Pin Top 0.37R × 4pins

Pushing Pressure 170g/pin


 

LSR探頭

 

LSR (p/n RMH503)

For soft surface samples,

Pin Interval 5mm

Pin Top hemisphere Ø2 × 4pins

Pushing Pressure 140g/pin


 

AR探頭

AR (p/n RMH508)

Pin Interval 10mm

Pin Top Ø2 × 2pins

Pushing Pressure 230g/pin


 

BR探頭

BR (p/n RMH509)

Resistance by 2 parts: Each part has a pin,

Pin interval free,

Pin top Ø2 × 2 pins

Pushing pressure 200g/Pin


 

ASR探頭

ASR (p/n RMH501)

Standard, Pin Interval 5mm,

Pin Top 0.37R ×4 pins

Pushing Pressure 220g/Pin


 

QR探頭

QR (RMH505)

For very small samples,

Pin Interval 1.5mm

Pin Top 0.26R × 4pins

Pushing Pressure 95g/pin


 

NSCR探頭

NSCR (RMH507)

For Silicon Wafer,

Pin Interval 1.0mm

Pin Top 0.04R × 4pins

Pushing Pressure 250g/pin


 

ESP探頭

MCP-TRF1 (p/n RMH304)

Linear 4 Pins, 1Ω

For ASR,ASP,ESR,ESP,LSR,LSP Probes


 

PSP之探頭檢驗片

MCP-TRPS (p/n RMH311)

Linear 4 Pins, 1Ω,

for PSR,PSP probe


 

TFP, NSCP之探頭檢驗片

MCP-TRT2 (p/n RMH335)

2 Pins, 1Ω,

For AR,AP2,BR,BP probes


 

TFP, NSCP之探頭檢驗片

MCP-TRTF(p/n RMH312)

4 Pins, 1Ω,

For NSCR,NSCP,TFP probes


 

TFP, NSCP之探頭檢驗片

MCP-TRQP2 (p/n RMH313)

4 Pins, 1Ω,

For QR,QP2 probes


 

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