6代LTPS生產線 明年量產

　全球掀起高階面板LTPS（低溫多晶矽）、IGZO（金屬氧化物半導體）技術投資熱，應用材料宣佈，推出新的物理氣相沉積（PVD）和電漿強化化學氣相沉積（PECVD）技術，可以提供5代、6代到8.5代的設備。

　AKT指出，其中又以日本、大陸投資最積極，明年6代LTPS生產線將陸續量產。

　應用材料宣佈，推出新的PVD和電漿強化PECVD技術，Applied AKT-PiVot物理氣相沉積和Applied AKT-PX 電漿強化化學氣相沉積薄膜沉積系統提供高效能、符合成本效益的途徑，帶動先進材料的量產可用來製造更快速、更小巧的薄膜電晶體，適用於液晶顯示器和OLED技術。

　蘋果的iPhone與iPad面板，均使用LTPS面板，LTPS也成為了高階行動產品主流技術，帶動投資熱潮。AKT指出，以現況來看，客戶傾向興建6代新廠，相比過去4.5代廠，面板生產成本估計可以降低20％~30％。而目前又以日本和大陸投資最為積極。大陸京東方今年在內蒙投資了一條5.5代LTPS生產線，而鴻海集團的天億也在成都砸下人民幣220億元，規劃3萬片LTPS面板的產能，以及3萬片IGZO產能，預計2013年下半年投產。至於日本的JDI和夏普也都投資了6代LTPS生產線。

　AKT顯示器事業群行銷長Max McDaniel表示，針對採用金屬氧化物TFT，使用專屬的旋轉陰極技術來沉積IGZO，這是具有高電子遷移率的新材料，能形成電晶體通道，克服影響顯示器品質的顯示不均缺陷。此外，由PiVot沉積的銦鎵鋅氧化物薄膜突破了TFT 穩定性問題，確保OLED可以使用金屬氧化物背板，大幅降低成本。

　LTPS技術是一直面臨玻璃基板放大問題和單位製造成本高昂的挑戰。AKT-PX電漿強化化學氣相沉積系統的全新擴充系列產品，可在1.6平方公尺到5.7平方公尺的玻璃基板上沉積出極為均勻的LTPS薄膜。這些加大的基板，讓面板製造商能夠實現經濟規模，大幅提高產能並降低成本。