真空系統設備零件製造 濺鍍機/蒸鍍機/電子束系統 PECVD/OLED/RIE/ALD系統 客製化系統規劃設計 客製化真空管件/腔體/零組件加工 真空系統維修/測漏/改裝 DC/RF電源供應器 各式真空計/真空幫浦/氣體流量計/磁控槍 真空耗材:靶材/膜厚計晶片/機械幫浦油..等

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