產品適用 |
半導體及光電水質金屬含量線上分析 |
產品特色 |
光吸收量測法(試劑注入式) 0.1ppb~10ppb(標準液保証值) 能立即線上監控金屬雜質 偵測RCA洗淨藥液(APM,HPM,TMAH)之金屬含量 可程式時間控制,進行線上連續監控 可進行濃度警告設定 監測時會預先進行標準液自動校正 檢測用藥液專用收納匣,交換時安全且高便利性 替換各種試驗液匣,警告控制系統 可與主系統連結,管理資料庫 |
產品規格 |
供給電源:100VAC/110V 50/60Hz 機體尺寸:長400x寬460x高462(mm) 重量:約32Kg |