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ACT-300 AⅡ Active ACT-300 AⅡ 旋轉塗佈機

ACT-300 AⅡ

Active ACT-300 AⅡ 旋轉塗佈機

ACT-300 AⅡ Active Spincoater

廠牌:代理
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Active ACT-300 AⅡ 旋轉塗佈機-行動條碼QR Code

圓形基板最大支援φ150mm,方形基板最大支援□110mm
 
特點
  • 高性能、低價位的研究和實驗的最佳選擇
  • 標配帶聯鎖感應器的安全罩
  • 安全蓋有滴水孔(帶滑動蓋),即使在旋轉過程中也可以滴水。
  • 多段式10階段,安裝了100個模式程序記憶體
  • 支持使用各種解決方案的開發和評估
用途
半導體、太陽能電池、移動設備、光學鏡片、眼鏡鏡片、奈米技術/生物技術、住房設備、尖端醫療相關產品、液晶等顯示器、塗層和薄膜的實驗、研究和生產。
 
主要目的地
小型實驗室到大公司/大學、政府機關
 
規格
基板尺寸
Φ5 至 Φ150mm (Max. Φ6 inch, □110mm) 基板相容
工作(基板)重量
300g以下
杯子內徑
Φ300mm
外形尺寸
W350×D450×H關門325(開門640)mm
電源
1Φ100V-10A(交流伺服馬達200W)50/60Hz
旋轉控制速度/旋轉精度
0~6000rpm/±1rpm以下(荷重下)
基材吸附壓力
-70 至 -80kPa
真空泵排量:12L/min以上
(設備側外徑Φ6管一鍵連接)
程序步驟/
模式的數量
10 步驟/100 種模式(程序記憶功能標準)
可改成20步驟/50模式(訂貨時請註明)
可改成50步驟/20模式(訂貨時請註明)
顯示螢幕
液晶顯示器(顯示20個字元,4行)
編程號碼、轉速、時間、吸附壓力顯示
控制方式
微電腦控制(用數字鍵盤輸入輕鬆編程)
主機外罩/杯子材料
SUS304電鍍拋光(特氟龍塗層可選)
安全措施
帶聯鎖感應器的安全蓋(旋轉過程中打開蓋自動停止旋轉)
具有基板吸附壓力聯鎖功能(不吸附時不旋轉)
重量
約22公斤
 
選配
樣品台(卡盤)
材料/耐化學性數據
(交貨日期 / 約 20 天)
根據電路板尺寸,會後製造
材料選擇:POM、PCTFE、PTFE、PEEK、鋁
*鋁材可選擇特氟龍塗層
真空泵浦
(用於底物吸附)
· 小隔膜式乾式真空泵12S連接口改裝
· 排氣速度(L/min):12/14(50/60Hz)
· 透明聚氨酯制真空管Φ6×3m
安全罩電磁鎖
安全蓋被鎖定,從編程開始進行到結束都無法打開。
杯子
接液部件上的杯和內杯 Teflon 塗層
 
 

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