廠牌:代理
供應商:大台北尖端儀器有限公司
聯絡電話:02-2531-0981
快速詢價 |
基板尺寸
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Φ5 至 Φ150mm (Max. Φ6 inch, □110mm) 基板相容
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工作(基板)重量
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300g以下
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杯子內徑
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Φ300mm
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外形尺寸
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W350×D450×H關門325(開門640)mm
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電源
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1Φ100V-10A(交流伺服馬達200W)50/60Hz
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旋轉控制速度/旋轉精度
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0~6000rpm/±1rpm以下(荷重下)
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基材吸附壓力
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-70 至 -80kPa
真空泵排量:12L/min以上 (設備側外徑Φ6管一鍵連接) |
程序步驟/
模式的數量
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10 步驟/100 種模式(程序記憶功能標準)
可改成20步驟/50模式(訂貨時請註明) 可改成50步驟/20模式(訂貨時請註明) |
顯示螢幕
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液晶顯示器(顯示20個字元,4行)
編程號碼、轉速、時間、吸附壓力顯示 |
控制方式
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微電腦控制(用數字鍵盤輸入輕鬆編程)
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主機外罩/杯子材料
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SUS304電鍍拋光(特氟龍塗層可選)
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安全措施
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帶聯鎖感應器的安全蓋(旋轉過程中打開蓋自動停止旋轉)
具有基板吸附壓力聯鎖功能(不吸附時不旋轉) |
重量
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約22公斤
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樣品台(卡盤)
材料/耐化學性數據 (交貨日期 / 約 20 天) |
根據電路板尺寸,會後製造
材料選擇:POM、PCTFE、PTFE、PEEK、鋁 *鋁材可選擇特氟龍塗層 |
真空泵浦
(用於底物吸附) |
· 小隔膜式乾式真空泵12S連接口改裝
· 排氣速度(L/min):12/14(50/60Hz) · 透明聚氨酯制真空管Φ6×3m |
安全罩電磁鎖
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安全蓋被鎖定,從編程開始進行到結束都無法打開。
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杯子
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接液部件上的杯和內杯 Teflon 塗層
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